真空泵的分类
(1) 水环真空泵
水环真空泵内装有带固定叶片的偏心转子, 将水(液体) 抛向定子壁, 水(液
体) 形成与定子同心的液环, 液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容
积真空泵。 虽然水环真空泵属于粗真空泵, 但在我国的石油、 化工、 电力、 轻纺、
造纸、 医药等领域仍然有着很大的市场。 在国外, 水环泵的销售额占全部真空泵
市场的 14%, 仅次于干泵, 所以 NASH、 SEIEMMS 和 KINNEY 等公司都在我国
投资建厂或建立销售网络, 不断扩大在我国的市场份额。 由于水环泵大部分是铸
件, 加工要求也不高, 属劳动密集型产品, 所以国产水环泵在价格上有竞争优势,
关键是要改进设计,缩小体积,减轻重量,提高效率,降低能耗。
(2) 滑阀泵
滑阀泵是油封式真空泵的一种。 由于滑阀泵比较耐用、 可靠, 国内外各种真
空炉、 镀膜机以及干燥、 浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵, 但是滑阀泵铸件
重, 加工工作量较大, 所以国外各真空泵厂都在中国寻找合作伙伴。 为了使国产
滑阀泵能够进入国际市场, 必须进一步降低泵的振动噪声, 杜绝喷油和漏油, 提
高滑阀泵长期运行的可靠性。
(3) 直联旋片泵
旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵 [6]。其工作压强范围
为 101325~1.33×10 2 Pa,属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真
空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛的应用于冶金、机械、军工、电子、化
工、 轻工、 石油及医药等生产和科研部门。 随着真空技术在各个应用领域的不断
扩大, 直联旋片泵的需求量越来越大。 由于这种泵数量很多, 加工装配工作量很
大, 价格又很低, 所以有的国外真空泵厂商在中国建立专业厂。 国产中小型直联
旋片泵在技术上已经过关, 价格又远比国外的泵便宜, 所以国产泵仍然有竞争优
势, 关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题, 确保直联
泵在高速、 高温下性能稳定和运行可靠, 同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽
除水蒸气的能力。
(4) 罗茨真空泵
从国外罗茨真空泵生产情况来看,国外几家大公司,如 Leybold、 Balzers、
Alcatell、 Edwards和 ULVAC ,他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的
比例都没超过 5%,这 5 家总计才 20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格
远比国产泵要高得多。 目前, 国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,
为了缩短抽气时间、 提高生产效率都配有罗茨泵。 所以国产罗茨泵一定要在占领
国内市场基础上设法进入国际市场, 这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪
声,彻底解决轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵内的光洁度和清洁度。
另外,还要考虑到有些国家和地区的电源频率为 60Hz,更要确保罗茨泵在提高
转速的情况下长期运行的可靠性。
目前, 国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快, 技术上已经成熟。 由于这种泵
在排气口的下面装有气体冷却器, 其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以
冷却转子, 从而使压缩热得到平衡, 所以这种泵可以直排大气。 为了满足不同极
限真空度的要求, 这种泵可以串联使用, 一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,
所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介
质, 实际上也是属于干泵。 目前, 这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、
化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期
运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用